xps

(Synchrotron Radiation Photo-Electron Spektroscopy)

Fotoelektrónová spektroskopia budená synchrotrónovým žiarením

Vlastnosti synchrotrónového žiarenia

Synchrotrónové žiarenie sa získava v kruhových urýchľovačoch resp. v tzv. akumulačných prstencoch. Vyžarujú ho elektróny počas svojho urýchľovania v dôsledku síl, ktoré na ne pôsobia v magnetických poliach. Uvoľnená energia má formu elektromagnetického žiarenia, ktoré frekvenčne pokrýva oblasť od tvrdého rengenového žiarenia až po infračervené. Najvýznamnejšie vlastnosti synchrotrónového žiarenia sú predovštkým:
  1. spojité, široké spektrum vlnových dĺžok,
  2. prirodzená kolimácia žiarenia,
  3. vysoká intenzita,
  4. vysoký stupeň polarizácie,
  5. pulzný charakter žiarenia,
  6. možnosť koherencie.

Vďaka týmto vlastnostiam nachádza synchrotrónové žiarenie uplatnenie nie len vo fyzike pevných látok, ale aj v chémii, biológii či medicíne.
Na tejto stránke sa budeme zaoberať synchrotrónovým žiarením ako zdrojom budiaceho žiarenia pre emisiu fotoelektrónov z povrchových vrstiev kondenzovaných látok. Využitie fotoemitovaných elektrónov pre spektroskopické účely je základom ultrafialovej fotoelektrónovej spektroskopie (UPS) a rentgenovej fotoelektrónovej spektroskopie (XPS). Cieľom je poukázať na výhody použitia SRPES voči bežnej metóde XPS, v ktorej sa skúmané vzorky ožarujú rentgenovým žiarením s obmedzeným počtom vlnových dĺžok. Najčastejšie sú dve s energiami fotónov 1253.6 eV a 1486.6 eV. Naproti tomu napríklad aparatúra napojená na synchrotrón Elettra v Terste (obr.5) umožňuje vyberať fotóny s energiami v rozsahu 40-800eV.

Najvýznamnejšou vlastnosťou SRPES je laditeľnosť, čiže možnosť vybrať si energiu fotónov, ktorými bude skúmaná látka exponovaná. Voľbou vhodnej energie primárneho žiarenie môžeme do istej mieri ovplyvniť hrúbku povrchovej vrstvy, z ktorej budeme detekovať fotoelektróny nesúce požadovanú informáciu. Na pochopenie tejto výhody je dôležité priblížiť si pojmy úniková hĺbka a stredná voľná dráha pre neelastickú interakciu elektrónov .

Úniková hĺbka, stredná voľná dráha neelastickej interakcie

Pri rentgenovej fotoelektrónovej spektroskopii sa vzorky ožarujú rentgenovým žiarením a meria sa kinetická energia uvoľnených fotoelektrónov. Pre chemickú analýzu vzorky sú dôležité tie fotoelektróny, ktoré pri prechode k detektoru neprekonajú žiadnu neelastickú interakciu (tým by stratili časť pôvodnej kinetickej energie). Samotné rentgenové žiarenie preniká pomerne hlboko pod povrch vzorky. Fotoelektróny uvoľnené z atómov vzorky vo väčších hĺbkach musia pri prechode k detektoru prekonať väčšiu vzdialenosť, čím rastie pravdepodobnosť neelastickej interakcie. Stredná dĺžka trajektórie, ktorú elektrón s istou kinetickou energiou prejde bez neelastickej interakcie, sa nazýva stredná voľná dráha pre neelastickú (nepružnú) interakciu. Jej hodnota závisí na:
  1. Kinetickej energii fotoelektrónu,
  2. Na druhu materiálu, ktorý skúmame.
U väčšiny materiálov je však závislosť strednej voľnej dráhy pre neelastický rozptyl na skúmanom materiále veľmi malá v porovnaní so závislosťou na kinetickej energii.

Pri zanedbaní elastických zrážok, príspevok elektrónov z vrstvy hrúbky dy a z hĺbky y k celkovému detekovanému prúdu Ix,nlj klesá exponenciálne so vzrastajúcou vzdialenosťou od povrchu:

dIx,nl=F.nxx.T.exp(-y/d)dy

V tomoto vzťahu predstavuje F tok fotónov, nx koncentráciu emitujúcich atómov X, σx,nlj pravdepodobnosť emisie elektrónu nlj atómu X pri interakcii s primárnym fotónom (všeobecne závisí aj na uhle, pod akým rovinu skúmaného povrchu sledujeme), T je faktor transmisie spektrometru.
Veličina d sa nazýva úniková hĺbka fotoelektrónu. Je to kolmá vzdialenosť od roviny povrchu, v ktorej sa pravdepodobnosť, toho že fotoelektrón uvoľnený z atómu X v tejto hĺbke prejde k povrchu bez neelastickej interakcie, rovná 1/e (36,8 %). Z toho vyplýva, že približne 95% signálu vychádza z vrstvy y=3d. Stále však neuvažujeme elastické zrážky.
Hodnota únikovej hĺbky priamo súvisí so strednou voľnou dráhou λi neelastickej interkacie a závisí aj od uhla theta, pod ktorým fotoelektrón detekujeme (obr. 1):

d = λi cos θ

Uhlova zavislost informacnej hlbky

Obr.1: Úniková hĺbka d, z ktorej detekujeme neelasticky reagujúce fotoelektróny, závisí na ich kinetickej energii a na uhle, pod ktorým ich sledujeme.


V niektorých prípadoch možno uhlovú závislosť únikovej hĺbky využiť na hĺbkové profilovanie skúmanej vzorky. Lenže vo väčšine prípadov je nutné započítať aj vplyv elastických zrážok fotoelektrónov. Tieto zrážky vedú k náhodným zmenám pôvodného smeru fotoelektrónu a úniková hĺbka stráca jednoduchú kosínovú závislosť na uhle theta. Okrem toho je na uhle theta závislá aj pravdepodobnosť emisie elektrónu σx,nlj . V takom prípade sa zavádza tzv. diferenciálny účinný prierez (x,nlj/dΩ)dΩ , kde je element priestorového uhlu. Preto je pre hĺbkové profilovanie výhodnejšie meniť strednú voľnú dráhu elektrónu (pre neelastickú interakciu). Tá je daná predovšetkým kinetickou energiou fotoelektrónu. Jej rádové hodnoty a charakter závislosti na kinetickej energii je pre všetky látky podobný a má tvar zobrazený na obr.2.

Meen free path

Obr. 2: Závislosť strednej voľnej dráhy fotoelektrónov pre neelastickú interakciu na ich kinetickej energii v pevnej látke.

Keď sa zaujímame o elektrón emitovaný z hladiny (nlj) atómu X, môžeme voľbou primárneho rentgenového žiarenia meniť jeho kinetickú energiu po uvoľnení z atómu a tým zároveň aj strednú voľnú dráhu neelastickej interakcie. V konečnom dôsledku tak meníme hĺbku povrchovej vrstvy, z ktorej získavame signál (obr. 3).

SRPES_depth_profiling
Obr.3: Pomocou SRPES možno meniť hrúbku povrchovej vrstvy, z ktorej sa získava informácia.


Pravdepodobnosť fotoemisie, Cooprove minimum

Okrem nastavenia informačnej hĺbky zmenou energie dopadajúceho rentgenového, resp. UV žiarenia, má ľaditeľnosť synchrotrónového žiarenia využitie aj pri ďalších fyzikálnych javoch. Jedným z nich je závislosť pravdepodobnosti emisie σx,nlj elektrónu (nlj) z atómu X (tzv. účinný prierez), pri interakcii so žiarením na energii hf tohto žiarenia. V mnohých prípadoch sa táto závislosť podobá priebehu znázornenému na obr.4. Vidno v ňom pomerne výrazné minimum, označované ako Cooprove minimum. Poloha Cooprovho minima je rôzna pre rôzne prvky. A práve táto vlastnosť sa vyžíva pri povrchovej analýze. Niektoré prvky majú totiž väzbové energie tak podobné, že ich v elektrónovom spektre nejde od seba odlíšiť a splývajú v ňom do jedného píku. Aby sa zistilo akou mierou k zmenám píku prispievajú jednotlivé zložky, vyberie sa na expozíciu vzorky žiarenie s energiou odpovedajúcou Cooprovmu minimu jedného z nich. Tým pádom je jeho príspevok k píku zanedbateľný voči príspevku od druhého prvku.

photoemission
Obr.4: Teoretická závislosť pravdepodobnosti fotoionizácie hladín Hf 5p a Zr 4d vo vzťahu k pravdepodobnosti fotoionizácie hladiny Cu 3d. (Podľa: C.G.H. Walker, et al: The composition dependence of the electronic properties of CuHf and CuZr amorphous metals)


Konkrétny príklad využitia SRPES

Ukážme si na konkrétnom príklade, ako sa využívajú uvedené výhody synchrotrónového žiarenia pri analýze vlastností povrchových vrstiev. Nasledujúce údaje a grafy sú prebraté z práce [1] od prof. V. Matolína a spol. a ich meraní v Laboratóriu materiálového výskumu (Material Science Beamline MSB) na synchrotróne Elettra v Terste. (Obr.5)

Synchrotron Elettra Aparatura
Obr.5: Synchrotrón Elettra v Terste a aparatúra na MSB.

Práca sa zaoberá výskumom bimetalickej vrstvy Zr-V pripravenej magnetickým naprašovaním. Na spektroskopickú analýzu bolo vybraté rentgenové žiarenie s energiami 600, 250 a 73eV. Pri energii 600 eV má fotoelektrón uvoľnený z hladiny O 1s kinetickú energiu zhruba 70eV a z hladiny V 2p 88eV, čo podľa obr.2 korešponduje s minimálnymi hodnotami strednej voľnej dráhy pre neelastickú interackiu elektrónov. Podobne to platí pre fotoelektrón z hladiny Zr 4d pri ožarovaní fotónmi s energiou 250 eV. Energia 73 eV odpovedá Cooprovmu minimu pre hladinu Zr 4d. Táto hladina má ionizačnú energiu veľmi podobnú s ionizačnou energiou hladiny V 3d. Preto sa signály od týchto dvoch hladín v spektre prekrývajú. Vďaka Cooprovmu minimu, však možno signál od Zr 4d potlačiť, pretože v ňom je fotoionizačný účinný prierez približne 60 krát menší ako pre V 3d.
Na obr.6 sú zobrazené časti fotoelektrónového spektra v okolí píku O 1s. V zázneme z bežného XPS, kde bola vzorka exponovaná primárnym žiarením s energiou 1253,6 eV vidno, že sa intenzita sledovaného píku so vzrastajúcou teplotou výrazne mení. Naopak, v spektre získanom pomocou SRPES k zmene intenzity takmer nedochádza. To naznačuje, že kým tesne pod povrchom dochádza k zmenám, čo sa týka prítomnosti kyslíka, v najvrchnejšej monovrstve kyslík zostáva a jeho chemický stav sa mení len veľmi málo (zmena chemického stavu sa prejavuje posunom a zmenou tvaru píku).

XPS, hf = 1253 eV, 2 nm
SRPES, hf = 600 eV, 0.5 nm
O1s podla XPS O1s podla SRPES
Obr. 6: Eletrónové spektrum v okolí hladiny O 1s získané metódami XPS a SRPES.

Obr.7 ilustruje to, ako sa od seba môžu líšiť tie isté časti spektra istej vzorky, keď sa ožarujú rentgenovým žiarením s rôznou energiou. Takéto rozdiely nám môžu mnoho napovedať o tom ako sa s hĺbkou mení chemické zloženie povrchovej vrstvy.

SRPES, hf = 600 eV 1 nm
SRPES, hf = 250 eV 0.5 nm
Spetrum600 Spektrum250
Obr.7: Vývoj spektra píku Zr 3d počas postupného zohrievania vzorky.

Okrem fotoelektrónovej spektroskopie sa synchrotrónové žiarenie využíva napríklad aj pre priame štúdium štruktúry povrchov pevných látok alebo systémov substrát-adsorbát.


[1] Matolin, V; Dudr, V; Fabik, S; Chab, V; Masek, K; Matolinova, I; Prince, KC; Skala, T; Sutara, F; Tsud, N; Veltruska, K Activation of binary Zr-V non-evaporable getters: synchrotron radiation photoemission study Appl. Surf. Sci., 243 (1-4): 106-112, 2005.

[Home][Metody][Aparatury][Aktuální problémy][Prednášky][Zajímavé odkazy][Rejstrík]