Nanomanipulace v SEM

Student: Stanislav Haviar
Vedoucí: Prof. RNDr. Vladimír Matolín, DrSc.
Stav práce: obhájená

Abstrakt:

Mechanická manipulace s malými objekty o rozměrech menších než 100 nm je jednou z cest, kterou se ubírá rozvoj nanotechnologií. Umístění objektu do daného místa na čip, testování jeho mechanických a elektrických vlastností (např. měření odporu) umožňují nanomanipulátory s piezoelektrickými motory umístěné v řádkovacím elektronovém mikroskopu (SEM).
Cílem práce bude studovat možnosti měření vodivosti dvoudimenzionálních mikrosystémů, které jsou základem chemických senzorů – systémů jejichž elektrická vodivost závisí na interakci s molekulami plynů. K měření bude využit nanomanipulátor od firmy SmartAct umožňující 7 nezávislých pohybů, umístěný v řádkovacím elektronovém mikroskopu Mira. Studované materiály budou vrstvy senzorů na bázi oxidu cínu.

Nanomanipulátor


Obrázek vrstvy SnO₂ dopované Pd

Dílčí úkoly:
Bibliografická rešerše
Seznámení se s ovládáním manipulátoru
Zvládnuti základních funkcí ovládání řádkovacího elektronového mikroskopu

Literatura
Physical Principles of Electron Microscopy, Egerton, Ray F., Springer ISBN: 978-0-387-25800-3
Nanocatalysis, Editor/s: Heiz, U.; Landman, U., Springer ISBN: 978-3-540-74551-8
Nanotechnology in Catalysis 3, Editor/s: Zhou, Bing; Han, Scott; Raja, Robert; Somorjai, Gabor A., Springer ISBN: 978-0-387-34687-8