Metody přípravy povrchů pro fyzikální elektroniku

Vladimír Matolín

Tento předběžný studijní text je doplňkem k přednášce EVF075 (Metody přípravy povrchů pro fyzikální elektroniku) pro studenty oboru Fyzika povrchů a ionizovaných prostředí, studující na Katedře fyziky povrchů a plazmatu MFF UK v Praze.

Skriptum v podobě stažitelných DOC souborů je rozděleno do následujících oddílů:

1. Termodynamika povrchů, povrchové napětí, volná energie povrchu (50kB)

2. Povrchy pevných látek (56kB)

3. Povrchy v rovnováze (262kB)

4. Příprava čistých povrchů (75kB)

5. Diagnostika povrchů a tenkých vrstev elektronově spektroskopickými metodami - XPS, AES (450kB)

6. Povrchy oxidů (26kB)

7. Analýza povrchů metodami elektronové difrakce - LEED, RHEED (200kB)

8. Hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů - SIMS (264kB)

9. Spektroskopie rozptýlených iontů o nízkých energiích - ISS (465kB)

V Praze, květen 2002.