Diagnostika plazmových depozičních systémů

Student: Mishra Himanshu
Školitel: Doc. Mgr. Pavel Kudrna, Dr.
Konzultant: Prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc.
Stav práce: zadaná

Anotace:

Cílem disertace je studium vztahu mezi vnějšími parametry výboje - makroparametry - (stejnosměrné napětí na výboji, proud výbojem, případně vysokofrekvenční výkon spotřebovaný ve výboji a složení neutrálního plynu výboje) a lokálními parametry plazmatu - teplota, koncentrace a rozdělovací funkce elektronů - v několika typech plazmachemických zařízení (kontinuální a impulsní režim výboje v reaktoru s vysokofrekvenční příp. stejnosměrnou plazmatickou tryskou a jejími kombinacemi, stejnosměrný impulsní výboj v cylindrickém magnetronu). Studovány budou rovněž vlastnosti materiálů ve formě tenkých vrstev, které byly v těchto zařízeních vytvořeny.

Metodika válcové i ploché sondy v nízkoteplotním plazmatu (a případně i v magnetickém poli) byla na pracovišti katedry fyziky povrchů a plazmatu MFF UK již ověřena a byly vyvinuty základní metodické postupy. K dispozici je reaktor s vysokofrekvenční plazmatickou tryskou a systém válcového magnetronu vybavený sondovou diagnostikou a hmotnostním spektrometrem. Těžiště disertace je v experimentální práci. Při diagnostice vytvořených materiálů se předpokládá spolupráce s Fyzikálním ústavem, případně i dalšími ústavy AV ČR.

V rámci postgraduálního studia se předpokládá zahraniční stáž; podle možností/omezení cestování. Výjezd je podmíněn vynikajícími studijními výsledky.