Diagnostika HiPIMS systémů pro depozici kovových tenkých vrstev

Student: Turek Zdeněk
Školitel: Doc. Mgr. Pavel Kudrna, Dr.
Konzultant: Prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc.
Stav práce: zadaná

Anotace:

Depoziční magnetronové popřípadě tryskové plazmatické systémy pracující krátkými výkonovými pulsy mají v současnosti proti stejnosměrně pracujícím nevýhodu ve významně nižší depoziční rychlosti. Výzkum těchto systémů je v poslední době směřován k úpravě parametrů výkonových pulsů jako tvaru popřípadě opakování pulsů apod. s cílem zachovat výhodné vlastnosti pulsního systému, ale zvýšit depoziční rychlost. Pro to je nezbytná detailní diagnostika parametrů plazmatu včetně deponovaných vrstev.

Literatura:
U. Helmersson, M. Lattemann, J. Bohlmark, et al., Thin Solid Films 513 (2006) 1–24.
Další literatura dle dohody se školitelem.