Studium plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace

Student: Zanáška Michal
Školitel: Prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc.
Konzultant: Doc. Mgr. Pavel Kudrna, Dr.
Stav práce: obhájená

Abstrakt:

Disertace je zaměřeno na experimentální výzkum nízkoteplotního plazmatu generovaného v systémech s dutou katodou. Pokročilé metody diagnostiky plazmatu budou aplikovány v depozičních plazmových systémech při reaktivním pulzním naprašování dielektrických tenkých vrstev. Plazmatické systémy budou využity pro depozice převážně vrstev Fe2O3 nebo Fe1–xZnxO, které budou následně sulfurizovány na FeS2 nebo Fe1–xZnxS jako perspektivní materiál na levnou výrobu tenkovrstvého fotovoltaického článku. Výzkum bude dále zaměřen také na přípravu tenkých vrstev ZnO, TiO2 atp. jako vhodných kandidátů na výsledné vytvoření heterogenního P-N přechodu. Deponované vrstvy budou charakterizovány řadou pokročilých technik.


Literatura:
Bittencourt J.A., Fundamentals of Plasma Physics, Springer, New York, 2004, ISBN 0-387-20975-1.
Hutchinson I.H., Principles of Plasma Diagnostics, Cambridge University Press, 2002, ISBN 0-521-80389-6.
Lieberman, M.A., Lichtenberg, A.J., Principles of plasma discharges and material processing, Wiley-Interscience, ISBN 0-471-72001-1.
Další, převážně časopisecká literatura, podle dohody s vedoucím práce.