Student: Kučerová (Chlupová) Šárka
Školitel: Ing. Jan Grym, PhD. (Ústav fotoniky a elektroniky AVČR)
Stav práce: zadaná
Anotace:
FIB je moderní fyzikální instrument pro vytváření objektů nanometrových rozměrů pomocí zfokusovaného iontového svazku. Tyto nanoobjekty mohou být vytvářeny buď pomocí odprašovacího účinku iontového svazku, kdy se jedná o tzv. nanoobrábění anebo pomocí lokálně indukovaného rozkladu vhodně zvoleného plynu adsorbovaného na povrchu vzorku, kdy dochází k růstu nanoobjektů.
Cílem práce je definovaná příprava dvou- a třídimenzionálních nanostruktur pro fotonické a senzorické aplikace.
K dispozici je nový multifunkční přístroj na bázi rastrovacího elektronového mikroskopu SEM, iontového děla typu FIB produkujícího ionty Ga+ a počítačem řízeného napouštěcího systému plynů.
Literatura:
1. L. A. Giannuzzi, F.A. Stevie, Introduction to Focused Ion beams – Instrumentation, Theory, Techniques and Practice, 2005, Springer.
2. Nan Yao, Focused Ion beam Systems –Basics and Applications, 2007, Cambridge University Press.
3. Časopisecká literatura bude doplněna po konzultaci se školitelem.
FIB SIMS is a modern physical tool for the creation of nanometer sized objects using a focused ion beam. Those nanoobjects can be formed either by the sputtering effect of the ion beam, when we talk about the nanomachining, or by locally inducing the decomposition of a properly chosen gas adsorbed on the sample surface, then nanoobjects can be grown.
The goal of the thesis is a controlled creation of two- and three-dimensional nanostructures for photonic and sensoric applications.
The available facility is a new multifunctional instrument based on a scanning electron microscope, FIB-type ion gun producing Ga+ ions, and a computer controlled gas injection system.