Impulsní plazmatické systémy

Student: Jan Klusoň
Školitel: Mgr. Pavel Kudrna, Dr.
Konzultant: Prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc.
Stav práce: obhájená

Abstrakt:

Cílem disertace je studium vztahu mezi vnějšími parametry výboje - makroparametry - (stejnosměrné napětí na výboji, proud výbojem, případně vysokofrekvenční výkon spotřebovaný ve výboji a složení neutrálního plynu výboje) a lokálními parametry plazmatu - teplota, koncentrace a rozdělovací funkce elektronů - v několika typech plazmachemických zařízení (kontinuální a impulsní režim výboje v reaktoru s vysokofrekvenční příp. stejnosměrnou plazmatickou tryskou a jejími kombinacemi, stejnosměrný impulsní výboj v cylindrickém magnetronu). Studovány budou rovněž vlastnosti materiálů ve formě tenkých vrstev, které byly v těchto zařízeních vytvořeny.

Metodika válcové i ploché sondy v nízkoteplotním plazmatu (a případně i v magnetickém poli) byla na pracovišti katedry fyziky povrchů a plazmatu MFF UK již ověřena a byly vyvinuty základní metodické postupy. K dispozici je reaktor s vysokofrekvenční plazmatickou tryskou a systém válcového magnetronu vybavený sondovou diagnostikou a hmotnostním spektrometrem. Těžiště disertace je v experimentální práci. Při diagnostice vytvořených materiálů se předpokládá spolupráce s Fyzikálním ústavem, případně i dalšími ústavy AV ČR.

V rámci postgraduálního studia je (v případě výborných studijních výsledků) možnost výjezdu na spolupracující pracoviště Univerzity v Greifswaldu, SRN, Univerzity Innsbruck, Rakousko a/nebo Komenského Univerzity v Bratislavě. V rámci programu Erasmus je dále možný výjezd na Univerzitu v Gentu, Belgie, nebo Technickou Univerzitu v Eindhovenu, Nizozemí. Rovněž tyto výjezdy jsou podmíněny vynikajícími studijními výsledky.

Předpokládané znalosti:
Základní znalosti o fyzice nízkoteplotního plazmatu a o diagnostice plazmatu (možno získat během prvního roku studia navštěvováním doporučených přednášek), experimentální zručnost, motivace.