Nízkoteplotní plazma pro technologické aplikace

Student: Sergey Leshkov
Školitel: Prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc.
Konzultant: Mgr. Zdeněk Hubička, Dr., FÚ AV ČR, tel. 266 052 995
Stav práce: přerušená

Abstrakt:

Cílem disertace je studium vztahu mezi vnějšími parametry výboje - makroparametry - (stejnosměrné napětí na výboji, proud výbojem, případně vysokofrekvenční výkon spotřebovaný ve výboji a složení neutrálního plynu výboje), lokálními parametry plazmatu - teplota, koncentrace a rozdělovací funkce elektronů - v několika typech plazmachemických zařízení (aktivní a dohasínající výboj v reaktoru s vysokofrekvenční příp. stejnosměrnou plazmatickou tryskou a jejími kombinacemi) a vlastnostmi materiálů ve formě tenkých vrstev, které byly v těchto zařízeních vytvořeny. Součástí práce je zdokonalení metody válcové sondy pro její aplikaci při diagnostice vysokofrekvenčně i stejnosměrně generovaného plazmatu v plazmachemickém reaktoru v širokém rozsahu tlaků.

Metodika válcové i ploché sondy v nízkoteplotním plazmatu (a případně i v magnetickém poli) byla na pracovišti katedry EVF MFF UK již ověřena a byly vyvinuty základní metodické postupy. K dispozici je reaktor s vysokofrekvenční plazmatickou tryskou a systém válcového magnetronu. Těžiště disertace je v experimentální práci. Při diagnostice vytvořených materiálů se předpokládá spolupráce s Fyzikálním ústavem, případně i dalšími ústavy AV ČR.

Téma je v současné době podporováno grantem GAČR-202/03/0827 „Studium elementárních procesů v nízkoteplotním a technologicky orientovaném plazmatu a vývoj relevantních diagnostických metod“ a grantem COST 527.70 „Stejnosměrný válcový magnetron a vysokofrekvenční plazmová tryska - experiment a model“.

V rámci postgraduálního studia je (v případě výborných studijních výsledků) možnost výjezdu na spolupracující pracoviště Univerzity v Greifswaldu, SRN, Univerzity Innsbruck, Rakousko a/nebo Komenského Univerzity v Bratislavě. V rámci programu Erasmus je dále možný výjezd na Univerzitu v Gentu, Belgie, nebo Technickou Univerzitu v Eindhovenu, Nizozemí. Rovněž tyto výjezdy jsou podmíněny vynikajícími studijními výsledky.

Předpokládané znalosti

Základní znalosti o fyzice nízkoteplotního plazmatu a o diagnostice plazmatu (možno získat během prvního roku studia navštěvováním doporučených přednášek), experimentální zručnost, motivace.