Studium diagnostických systémů pro plazmové zdroje určené pro depozice tenkých vrstev (s aplikací v plazmachemii)

Student: Petr Virostko
Supervisor: Prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc.
ConsultantMgr. Zdeněk Hubička, Ph.D., FzÚ AV ČR
Status: Defended

Abstract: