Student: Turek Zdeněk
Vedoucí: Doc. Mgr. Pavel Kudrna, Dr.
Konzultant: Prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc.
Stav práce: obhájená
Abstrakt:
Anotace:
Při aplikaci nízkoteplotního plazmatu v technologických procesech je třeba fokusovat proud nízkoteplotního plazmatu na substrát. Jednou z možností je vytvořit nízkoteplotní plazma pomocí výboje v trysce a proudem plynu jej směrovat na substrát. Druhou možností je rozprašovat terč materiálu, a rozprášené částice terče směrovat na substrát magnetickým polem-princip planárního magnetronu. Plazmatické tryskové systémy využívají stejnosměrný nebo vysokofrekvenční zdroj napětí, magnetrony jsou zpravidla napájeny stejnosměrným proudem. Oba systémy je možné provozovat v impulzním režimu.
Předmětem diplomové práce je úprava experimentální aparatury a následné studium stejnosměrně a popřípadě i vysokofrekvenčně buzeného plazmatického tryskového systému v kontinuálním i impulzním režimu. Dále srovnání parametrů plazmatu systému s tryskou a systému s magnetronem za stejných experimentálních podmínek. Základní díly aparatury (zdroj stejnosměrného a vysokofrekvenčního napětí, rychlý elektronický spínač, systém pro regulaci průtoku pracovního plynu) jsou k dispozici. Diagnostika vytvořeného proudu plazmatu se předpokládá zejména sondová, případně i hmotově-spektrometrická nebo fotografická.
Zásady pro vypracování
1. Rešerše literatury.
2. Seznámit se s experimentálním vakuovým systémem v modifikaci s plazmovou tryskou i s magnetronem.
3. Seznámit se s elektronikou pro sondová měření (Agilent B2901A) a s příslušnou softwarovou podporou.
4. Spolupráce na optimalizaci softwaru pro sondovou diagnostiku a zpracování dat ze sondových měření.
5. Provedení experimentů, vyhodnocení a interpretace experimentálních dat.
6. Vypracování písemné zprávy.
Seznam odborné literatury
1. Plasma Diagnostics, Volume 1, Discharge parameters and chemistry, edited by Orlando Auciello, Daniel L. Flamm, Academic press, 1989, ISBN 0-12-067635-4.
2. Yu.P. Raizer, Gas Discharge Physics, Springer-Verlag Berlin Heidelberg New York, 1997, ISBN 3-540-19462-2.
3. Francis F. Chen, Úvod do fyziky plazmatu, Academia, Praha, 1984 (též v originální anglické verzi, Introduction to Plasma Physics, Springer, 1974, ISBN 978-1-4757-0459-4).
Další speciální literatura, zejména časopisecká, bude zadána po dohodě s vedoucím diplomové práce.