Student: Kúš Peter
Vedoucí: Prof. RNDr. Vladimír Matolín, DrSc.
Stav práce: obhájená
Abstrakt:
Oxidy SnO2-x ve formě tenkých vrstev a „nanodrátů“ o průměru jednotek až několika desítek nanometrů jsou perspektivními materiály pro plynové senzory. Zmenšením příčného rozměru senzorů lze dosáhnout nových selektivních vlastností, tj. citlivosti pro speciální plyny jako jsou např. H2, CO a NOx. Tyto systémy budou připravovány metodami depozice magnteronovým naprašováním na mikročipy pro čtyřbodové měření vodivosti vrstev při interakci s plyny.
Pro přípravu nanodrátů bude naprašování kombinováno s elektronovou litografií (EBL) v řádkovacím elektronovém mikroskopu (SEM). Fyzikálně-chemické povrchové vlastnosti vrstev budou modifikovány depozicí nanočástic katalyticky aktivní Pt. Morfologie připravených nanostruktur bude kontrolována pomocí SEM a AFM. Chemické složení bude studováno pomocí fotoelektronové spektroskopie XPS a energiově-disperzní rtg. spektroskopie (EDS). Struktura vrstev bude studována metodou rentgenové difrakce. Interakce s plyny metodou infračervené spektroskopie.
Cíle práce:
1) Bibliografická rešerše.
2) Zvládnutí přípravy vzorků magnetronovým naprašováním.
3) Studium deponovaných vrstev senzorů metodou XPS a XRD.
4) Kontrola morfologie povrchů metodou SEM.
5) Vyhodnocení výsledků a sepsání diplomové práce.
Doporučená literatura:
1. NANOCATALYSIS, Ed.: U. Heinz, U. Landman, Springer 2008.
2. NANOTECHNOLOGY IN CATALYSIS, Ed.: B. Zhou, S. Han, R. Rija, G.A. Somorjai, Springer 2007.
3. PHYSICS AND CHEMISTRY OF INTERFACES, H-J Butt, K. Graf, M. Kappl, Willey 2006.
4. SURFACE SCIENCE – Foundation of Catalysis and Nanoscience, K.W. Kolasinski, Willey 2002.