Properties of oxide films prepared by magnetron sputtering

Student: Tatiana Zahoranová
Supervisor: Doc. RNDr. Václav Nehasil, Dr.
Consultant: Prof. RNDr. Vladimír Matolín, DrSc.
Stav práce:

Abstract:

Oxidové vrstvy slouží často jako podložka heterogenních katalyzátorů (inertní vrstvy), ale někdy mají i tyto vrstvy samotné unikátní katalytické vlastnosti, například když dojde k jejich částečné redukci určitým kovem nebo když je připravena směsná oxidová vrstva a jednotlivé chemické složky interagují navzájem. Takové vlastnosti vykazuje například oxid ceru.

Ve vypsané diplomové práci budou připravovány vrstvy oxidu ceru metodou magnetronového naprašování. Vrstvy budou charakterizovány metodami elektronové spektroskopie, zejména Rentgenové fotoelektronové spektroskopie (XPS). Bude sledován vliv parametrů přípravy vrstvy (tloušťka, výkon….) na stechiometrii oxidu a případně i vliv jiného oxidu obsaženého ve vrstvě nebo kovu dodatečně deponovaného na připravenou vrstvu.

Zajímavou vlastností připravených vrstev je jejich chování při interakci s molekulami plynů (např. CO, NO), které je důležité pro reaktivitu systému při heterogenní katalýze. Adsorpční vlastnosti připravených vzorků budou zkoumány metodami Termodesorpční spektroskopie (TDS) a Molekulárních svazků (MB).

Práce navazuje na výsledky, které byly ve skupině dosaženy. Bude prováděna na existující aparatuře, která v současné době nevyžaduje žádnou úpravu.

Cíle práce:
1) Příprava vrstev oxidu ceru metodou magnetronového naprašování. Modifikace těchto vrstev dalším oxidem případně kovem, pokud se ukáže tento postup zajímavým z hlediska sledovaných vlastností vrstev oxidu ceru.
2) Stanovení vlastností připravených vrstev (elektronová struktura, stechiometrie, reaktivita) a vyvození závěrů z porovnání těchto vlastností s parametry přípravy vrstev.
3) Sepsání dosažených výsledků do diplomové práce.

Literaratura
1) L. Eckertová a kol., Fyzikální elektronika pevných látek, Univerzita Karlova, Praha, 1992.
2) Ch. Kleint, K.-D. Brzoszka, Čs. čas. fyz. A 25 (1975) 345.
3) D. Briggs and M. P. Seah, Practical Surface Analysis, John Willey and Sons, Chichester, England, 1990.
4) C. T. Campbell, Surf. Sci. Rep. 27 (1997) .
5) Články v odborných časopisech podle dohody studenta s vedoucím práce.