Investigation of deposition of thin films for microwave circuits in 10GHz band

Student: Jan Klusoň
Supervisor: Prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc.
Consultant: RNDr. Zdeněk Hubička, PhD.
Stav práce:

Abstract:

V současné době rostou požadavky na technologii výroby mikrovlnných obvodů a elementů pro přenos informací v pásmu 10 GHz. Jedna se o mikrovlnné kondenzátory, varaktory, posunovače fáze, směrové dielektrické laditelné antény atd. Základem těchto komponent jsou většinou tenké vrstvy s vysokou dielektrickou konstantou a malými ztrátami. Další vlastností těchto materiálů je možnost změny dielektrické konstanty pomocí přiloženého elektrickeho napětí. Téma bude zaměřeno na přípravu a studium těchto materiálů pomocí nízkotlakeho proudícího plazmatu.