Studium použití Curling sondy pro technologické plazma

Student: Kašpárek Patrik
Vedoucí: Doc. Mgr. Pavel Kudrna, Dr.
Konzultant: Prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc.
Stav práce: obhájená

Abstrakt:

Curling sonda je plochý vysokofrekvenční rezonátor tvaru vodivé spirály na dielektrickém substrátu. Princip měření spočívá v posunu rezonanční frekvence sondy při změně permitivity prostředí v prostoru před sondou. Je-li sonda vložena do plazmatu, lze ze změny její rezonanční frekvence vypočítat permitivitu a z ní koncentraci plazmatu. Konstrukční rezonanční frekvence Curling sondy však omezuje největší měřitelnou koncentraci plazmatu. Cílem práce je navrhnout a vyzkoušet Curling sondu s pracovní frekvencí blíže k limitu běžně dostupných vysokofrekvenčních generátorů 3 GHz.

Zásady pro vypracování

1. Rešerše literatury 2. Návrh sondy pro její výrobu 3. Proměření vlastností mimo plazma 4. Měření sondou ve výbojovém plazmatu

Literarura:

H. Sugai, K. Nakamura: Recent innovations in microwave probes for reactive plasma diagnostics, Jpn. J. Appl. Phys. 58 060101, 2019 DOI 10.7567/1347-4065/ab1a43 Další literatura po dohodě se vedoucím práce