Počítačové modelování interakce nízkoteplotního plazmatu s pevnými látkami

Student: Štěpán Roučka
Vedoucí: Prof. RNDr. Rudolf Hrach, DrSc.
Stav práce: obhájená

Abstrakt:

Práce bude věnována počítačovému modelování procesů probíhajících při interakci nízkoteplotního plazmatu s povrchy vnořených pevných látek. Při této interakci se na rozhraní mezi nenarušeným plazmatem a elektrodou vytvoří přechodová oblast, tzv. stínící vrstva, která do značné míry ovlivňuje procesy probíhající na elektrodě (podložce, sondě) – např. proud při sondové diagnostice plazmatu, složení nabitých částic dopadajících z plazmatu na pevnou látku, jejich úhlová a energetická rozdělení, chemické reakce na povrchu, apod. Při nižších tlacích se pro analýzu naměřených experimentálních charakteristik používají teoretické výpočty odvozené původně pro tzv. bezsrážkové plazma a později rozšířené i do oblasti tlaků, kde srážky mezi nabitými a neutrálními částicemi v plazmatu nejsou příliš intenzitní. Existují však problémy – např. studium plazmatu při vyšších tlacích, studium chemicky aktivního plazmatu nebo studium dynamických procesů v plazmatu – kde podstatně vhodnější než výpočty teoretické se jeví částicové počítačové modelování.

Obr: Trajektorie nabitých částic v okolí válcové sondy při třech různých tlacích stoupajících od leva do prava: 1.33 Pa, 13 Pa a 133 Pa.

Úkolem bakalářské práce proto bude: