3D tomografie tenkovstvých katalyzátorů pomocí technik FIB/SEM

Student: Dinhová Thu Ngan
Vedoucí: Doc. Mgr. Iva Matolínová, Dr.
Konzultant: Mgr. Jaroslava Nováková, Ph.D.
Stav práce: obhájená

Abstrakt:

Fyzikální a chemické vlastnosti materiálů jsou významně ovlivněny jejich strukturou a chemickým složením. Skenovací elektronová mikroskopie (SEM) spolu s technikou fokusovaného svazku iontů je mocným nástrojem pro charakterizaci struktury materiálů. Fokusovaný svazek iontů (FIB), který pracuje na principu odprašování materiálu urychlenými těžkými ionty (např. Ga+), je ideálním mikroobráběcím nástrojem např. pro přípravu vzorků pro TEM, neboť dokáže opracovat materiály do podoby velmi tenké folie, která je pro elektrony s vysokou energií průhledná.

V rámci vypsané práce budou v řádkovacím elektronovém mikroskopu (SEM) LYRA v kombinaci s fokusovaným svazkem iontů (FIB) studovány možnosti profilování různými materiály.

Cílem práce bude třírozměrné zobrazování struktury tenkých vrstev.

Zásady pro vypracování:
1) Bibliografická rešerše.
2) Zvládnutí základních funkcí ovládání SEM a FIB.
3) Příprava lamel a jejich kontaktování v SEM/FIB s cílem přenesení na povrch mřížky pro TEM.
4) Studium struktury tenkých vrstev elektronovou mikroskopií spolu s technikou FIB v 3D.
5) Vyhodnocení výsledků a sepsání bakalářské práce.

Literatura
1. Physical Principles of Electron Microscopy, R. F. Egerton, Springer, , Edmonton, Kanada 2007, ISBN 978-0387-25800-0.
2. Focused Ion Beam System, edited by Nan Yao, Cambridge University Press, ISBN 978-0-521-83199-4.
3. Nanostructures & Nanomaterials, G. Cao, Imperial College Press, ISBN: 1-86094-415-9, London 2004.
4. Tématicky zaměřené pulikace v odborných časopisech podle dohody s vedoucí práce.