Studium parametrů plazmatu v plazmatické trysce

Student: Estera Štefániková
Vedoucí: Prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc.
Konzultant: Doc. Mgr. Pavel Kudrna, Dr.
Stav práce: obhájená

Abstrakt:

Systém plazmatické trysky sestává ze stále čerpané vakuové komory, do níž je definovanou rychlostí napouštěn pracovní plyn tryskou, která je připojena na radiofrekvenční nebo stejnosměrné vysoké napětí. Mezi tryskou a uzemněnou vakuovou komorou pak hoří výboj a vzniklé nízkoteplotní plazma má vlivem rychlosti plynu vycházejícího z trysky protáhlý tvar. Aplikace spočívá v možnosti umístit na vhodné místo naproti trysce předměty, na kterých mohou z materiálu katody vznikat vrstvy s výhodnými vlastnostmi. Reprodukovatelnost odobných technologií by byla velmi obtížná bez odpovídající znalosti parametrů použitého plazmatu. Práce může být zaměřena na experimentální studium parametrů plazmatu v trysce pomocí Langmuirovy sondy nebo hmotovým spektrometrem, je možné i použití optické diagnostiky např. s použitím CCD kamery. Tématika bakalářské práce je perspektivní i pro pokračování na diplomní resp. doktorskou práci.

Zásady pro vypracování:
1. Rešerše literatury.
2. Seznámit se s konstrukcí a obsluhou aparatury s plazmatickou tryskou včetně elektroniky pro sondová měření a softwarové podpory.
3. Spolupráce na vývoji a konstrukci mikrovlnné aparatury pro diagnostiku proudu plazmatu.
4. Spolupráce na úpravě softwaru pro sběr a zpracování dat.
5. Provedení experimentů a vyhodnocení a interpretace experimentálních dat.
6. Vypracování písemné zprávy.

Seznam odborné literatury:
Speciální literatura, zejména časopisecká, bude zadána po dohodě s vedoucím bakalářské práce.

Základní literatura:
1. F.F. Chen, Základy fyziky plazmatu.
2. J.D. Swift, M.J.R. Schwar, Electrical Probes for Plasma Diagnostics, Iliffe books, London, (1970).
3. P.M. Chung, L. Talbot, K.J. Touryan, Electrical Probes in Stationary and Flowing Plasmas, Theory and Application, Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg, New York, (1975).
4. S. Pfau, M. Tichý, Langmuir probe diagnostics of low-temperature plasmas, in Low Temperature Plasma Physics, R. Hippler et al. Eds., Wiley-VCH, Berlin etc., 2001, ISBN 3-527-28887-2, pp. 131-172.