Student: Tomáš Dolák
Vedoucí: Doc. Mgr. Pavel Kudrna, Dr.
Stav projektu: dokončený
Anotace:
Při vytváření nanočástic v plazmatu v systémech s plazmatickou tryskou nebo planárním magnetronem je depoziční rychlost vzniklých nanočástic obvykle nízká. Předpokladem pro její zvýšení je vyšší koncentrace plazmatu a tedy větší množství materiálu rozprášeného z terče. V kontinuálním režimu se nabízí možnost oba zmíněné zdroje plazmatu zkombinovat. Cílem práce je zprovoznit oba zdroje současně a ověřit navýšení koncentrace plazmatu jejím změřením Langmuirovou sondou.