Studium plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace

Student: Zanáška Michal
Školitel: Prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc.
Konzultant: Doc. Mgr. Pavel Kudrna, Dr.
Stav práce: obhájená

Abstrakt:

Disertace je zaměřeno na experimentální výzkum nízkoteplotního plazmatu generovaného v systémech s dutou katodou. Pokročilé metody diagnostiky plazmatu budou aplikovány v depozičních plazmových systémech při reaktivním pulzním naprašování dielektrických tenkých vrstev. Plazmatické systémy budou využity pro depozice převážně vrstev Fe₂O₃ nebo Fe_1–xZn_xO, které budou následně sulfurizovány na FeS₂ nebo Fe_1–xZn_xS jako perspektivní materiál na levnou výrobu tenkovrstvého fotovoltaického článku. Výzkum bude dále zaměřen také na přípravu tenkých vrstev ZnO, TiO₂ atp. jako vhodných kandidátů na výsledné vytvoření heterogenního P-N přechodu. Deponované vrstvy budou charakterizovány řadou pokročilých technik.

Literatura:
Bittencourt J.A., Fundamentals of Plasma Physics, Springer, New York, 2004, ISBN 0-387-20975-1.
Hutchinson I.H., Principles of Plasma Diagnostics, Cambridge University Press, 2002, ISBN 0-521-80389-6.
Lieberman, M.A., Lichtenberg, A.J., Principles of plasma discharges and material processing, Wiley-Interscience, ISBN 0-471-72001-1.
Další, převážně časopisecká literatura, podle dohody s vedoucím práce.