Student: Perekrestov Roman
Školitel: Doc. Mgr. Pavel Kudrna, Dr.
Konzultant: Prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc.
Stav práce: obhájená
Abstrakt:
Plazmatické systémy jsou v současnosti intenzivně využívané pro depozice široké škály tenkých vrstev jak pro již vyvinutá komerční řešení tak i pro výzkumné účely. Zejména tam je pak potřebná detailní znalost parametrů plazmatu v těchto systémech nejen pro zajištění reprodukovatelnosti, ale i pro cílené ovlivňování vlastností deponovaných tenkých vrstev. Cílem disertační práce bude studium parametrů plazmatu s ohledem na růst a vlastnosti tenkých vrstev vznikajících především rozprašováním terče na katodě, konkrétně např. Ti, Al apod. Zkoumanými experimentálními zařízeními budou válcový magnetron a plazmatická tryska, které mohou pracovat jak ve stejnosměrném tak pulzním režimu, přičemž u plazmatické trysky je navíc k dispozici i radiofrekvenční buzení s frekvencí 13,56 MHz. Základem diagnostiky výboje s prostorovým rozlišením bude Langmuirova sonda, hmotnostní spektrometr s energetickým analyzátorem popř. i optická diagnostika. Pro diagnostiku tenkých vrstev je k dispozici systém XPS, do kterého lze vzorky přenést pod vakuem, SEM popř. AFM. Předpokládané znalosti: Základní znalosti o fyzice nízkoteplotního plazmatu a o diagnostice plazmatu (možno získat během prvního roku studia navštěvováním doporučených přednášek), experimentální zručnost, motivace.