Vedoucí: Doc. Mgr. Pavel Kudrna, Dr.
Konzultant: Prof. RNDr. Milan Tichý, DrSc.
Stav práce: volná
Anotace:
Systémy s plazmovou tryskou, kde plazma je generováno efektem duté katody nebo velikostí elektrického pole, jsou studovány jako technologické nástroje pro depozici tenkých vrstev. Tryskové systémy mohou pracovat za nízkých tlaků v ultra vakuu, středních nebo vysokých tlaků až do atmosférického tlaku. Pracují s buzením vysokofrekvenčním, stejnosměrným, i s kombinací obou. Diplomový úkol má převážně experimentální charakter. Předmětem diplomového úkolu je dokončení konstrukce aparatury s vysokofrekvenčně buzenou plazmovou tryskou, která pracuje za tlaku několika desítek Pa) a umožňuje přidat do proudu plazmatu elektronegativní plyn. Aparatura je prakticky před dokončením, a k dispozici jsou všechny potřebné přístroje. Součástí diplomového úkolu je rovněž ověření funkčnosti aparatury ve výboji v argonu a diagnostika generovaného plazmatu pomocí Langmuirovy sondy.
Zásady pro vypracování:
1. Rešerše literatury.
2. Seznámit se s konstrukcí aparatury s vysokofrekvenčně buzenou plazmovou tryskou včetně elektroniky pro sondová měření a softwarové podpory.
3. Dokončit rozvody pracovních plynů a instalovat ohřev potrubí a měření teploty (počítačově řízený zdroj napětí pro regulaci ohřevu a teplotní čidla připojitelná přes USB jsou k dispozici). Vypracovat řídicí software pro regulaci teploty v jazyce Agilent VEE (ekvivalent LabView).
4. Zkonstruovat radiálně pohyblivou vysokofrekvenčně kompenzovanou Langmuirovu sondu a připojit ji na aparaturu.
5. Provést experimenty a vyhodnotit experimentální data.
6. Vypracovat písemnou zprávu.
Základní literatura:
1. F.F. Chen, Základy fyziky plazmatu.
2. J.D. Swift, M.J.R. Schwar, Electrical Probes for Plasma Diagnostics, Iliffe books, London, (1970).
3. P.M. Chung, L. Talbot, K.J. Touryan, Electrical Probes in Stationary and Flowing Plasmas, Theory and Application, Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg, New York, (1975).
4. S. Pfau, M. Tichý, Langmuir probe diagnostics of low-temperature plasmas, in Low Temperature Plasma Physics, R. Hippler et al. Eds., Wiley-VCH, Berlin etc., 2001, ISBN 3-527-28887-2, pp. 131-172.
Speciální literatura, zejména časopisecká, bude zadána po dohodě s vedoucím diplomové práce.